在国外项目中和国内新项目中,F8过滤器是非均匀流洁净室**常见的预过滤器。对于芯片厂100级,10级或更高级别的洁净厂房,预过滤器的常见效率级别为H10,许多新项目索性选用HEPA。在国内过去的洁净室空调系统设计中,过滤器常见配置为:粗效中效高效。那时高效过滤器的使用寿命仅为1--3年,**差的也就几个月。可见,预过滤器的效率高低决定末端过滤器使用的寿命。
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